国家知识产权局信息显示，广东精瓷新材料有限公司申请一项名为“一种基于流延成型的碳化硅静电卡盘及其制备方法”的专利，公开号CN121318460A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明公开一种基于流延成型的碳化硅静电卡盘及其制备方法，碳化硅静电卡盘包括有基座、邦定材料层以及陶瓷片；该陶瓷片采用碳化SiC原粉、体积电阻调控剂、烧结助剂和球磨添加剂通过流延、压合和烧结形成，并包含有通过丝网印刷制备的发热电极层以及吸附电极层。本发明通过添加体积电阻调控剂的方法调节碳化硅体积电阻率，以满足静电卡盘电介层质的要求，同时配合通过采用流延、压合和烧结工艺，在高温下同时施加压力作用，使得碳化硅陶瓷片各层能够烧结致密且层与层之间具有更高的结合度，有效避免出现分层，之后通过退火处理，有利于排除碳化硅陶瓷中残余杂质，促进陶瓷晶界迁移、晶粒生长均匀化以及气孔消除以提高致密度，释放残余应力。
天眼查资料显示，广东精瓷新材料有限公司，成立于2021年，位于河源市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本4513.3014万人民币。通过天眼查大数据分析，广东精瓷新材料有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目7次，财产线条，此外企业还拥有行政许可9个。
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